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IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:
选项:

A:在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;;
B:在淀积的铝膜中掺入约1%Si;;
C:在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;;
D:在铝膜表面覆盖Si3N4。

发布时间:2024-03-31 18:49:59
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