IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:选项: A:在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;; B:在淀积的铝膜中掺入约1%Si;; C:在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;; D:在铝膜表面覆盖Si3N4。 系统 淀积 可以避免 发布时间:2024-03-31 18:49:59