CMP技术所采用的设备有抛光机、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等,其中()是最重要的设备。选项: A:后CMP清洗设备; B:抛光机; C:抛光终点检测及工艺控制设备; D:废物处理和检测设备 废物处理 检测设备 清洗设备 发布时间:2024-03-31 18:50:05