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CMP技术所采用的设备有抛光机、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等,其中()是最重要的设备。
选项:

A:后CMP清洗设备;
B:抛光机;
C:抛光终点检测及工艺控制设备;
D:废物处理和检测设备

发布时间:2024-03-31 18:50:05
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